810-082745-003 LAM

品牌介绍

LAM Research Corporation是全球领先的半导体设备制造商,致力于为客户提供先进的蚀刻、沉积和清洗解决方案。LAM在全球拥有约14,000名员工,业务遍及17个国家和地区。

LAM的产品和服务包括:

蚀刻设备

沉积设备

清洗设备

服务和支持

分类:
  • 销售经理:白佳乐
  • 电话:15340667322(微信同号)
  • QQ:3395949709
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描述

810-082745-003 LAM

产品概述

LAM 810-082745-003是一款用于半导体制造的蚀刻腔体。它采用创新的设计和技术,可提供高精度、高均匀性和高可靠性的蚀刻性能。

产品参数

腔体尺寸:8英寸

蚀刻工艺:RIE、ICP

蚀刻材料:Si、SiO2、SiN、PolySi

蚀刻速率:可调

均匀性:±0.5%

重复性:±0.2%

产品应用

逻辑芯片制造

存储芯片制造

MEMS制造

光电子器件制造

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