853-049542-173 LAM

产品应用

半导体制造：用于晶圆的图形化、掺杂、清洗等工艺

微电子器件制造：用于MEMS、LED、光伏等器件的制造

品牌介绍

LAM Research是全球领先的半导体设备供应商，致力于为客户提供创新的解决方案。LAM Research的产品和服务广泛应用于晶圆制造、封装测试、半导体材料等领域。

分类：
  • 销售经理：白佳乐
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描述

853-049542-173 LAM

LAM Research 853-049542-173产品说明

产品概述

LAM Research 853-049542-173是一款用于蚀刻工艺的等离子体刻蚀腔室模块。它具有以下特点：

高性能:

采用高密度等离子体技术，可实现高蚀刻速率和均匀性

支持多种蚀刻工艺，可满足不同需求

高可靠性:

采用模块化设计，方便维护

拥有完善的故障保护机制，可确保系统稳定运行

易于使用:

参数设置简单，操作方便

提供多种软件接口，可满足不同应用需求

产品参数

型号：853-049542-173

适用晶圆尺寸：200mm

蚀刻工艺：RIE、ICP等

蚀刻速率：>10μm/min

均匀性：±3%

电源：20kW

尺寸：1000mm x 1000mm x 1500mm

Fluke DSP-4100 Cat6 SM / MM Fiber Cable Tester DSP4100

Anritsu Site Master S113B Cable Antenna SiteMaster S113

Fluke Microtest OMNIScanne​r 2 Cat6 OMNI SM MM Fiber

Agilent HP E6000C SM MM Fiber OTDR w E6012A E6005A 41dB

Agilent HP E6000C Mini OTDR MainFrame E6000

Fluke DSP-4100 Cat6 DSP41 00 FTA410 MM Fiber DSP-FTA410

Anritsu MW9076 SM Fiber OTDR MU250000A4 MW9076B1 40dB

Agilent HP E6000C OTDR E6012A SM Fiber E6000 1625 41dB

Agilent HP E6005A MM OTDR Module 850nm 1300nm E6000

Sumitomo Type-65 Ribbon Fiber Fusion Splicer Cleaver

Fluke DSP-4100 Cat6 DSP4100 FTA420 MM Fiber DSP-FTA420

Agilent HP E6012A SM OTDR Module 1550nm 1625nm 41dB

Tempo Sidekick T&N Twisted Pair Cable Tester TN T And N

Fluke 199 ScopeMeter HandHeld 200Mhz Oscillosco​pe 199B

TTC JDSU Acterna 2000 T-BERD 2310 TBERD OC3 OC12 OC48

EXFO FTB-300 SM OTDR FTB-7223B FTB-3922 Multitest VFL

AFL NOYES SLP 4-6 SM Fiber Loss Tester OPM 4-4 OLS OLS2

EXFO FLS-241 Visual Fault Identifier Universal VFL

JDSU Acterna DSAM-1000B Digtal CATV Meter DSAM1000 DSAM

Wavetek Acterna JDSU SAM 4040 Signal CATV SAM4040 Meter

EXFO FOS-120A SM 1310/1550 Fiber Optic Light Source FOS

Siecor Corning OTDR Plus 383-MD55 SM MM Fiber PM VFL

Fluke Networks OptiView Workgroup Analyzer OPV-WGA OPV

 

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