描述
810-046015-010 LAM
810-046015-010 LAM产品说明
产品名称:LAM Research蚀刻腔体温度控制器
型号:810-046015-010
产品概述:
810-046015-010是一款高性能、紧凑型温度控制器,专为满足半导体制造工艺中的蚀刻腔体温度控制需求而设计。它具有高精度、高稳定性和易用性等特点,可用于各种蚀刻工艺的温度控制。
产品参数:
温度范围:0°C至200°C
精度:±0.1°C
稳定性:±0.05°C
控制方式:PID
通信协议:RS-485
电源:24 V DC
工作温度:0°C至50°C(32°F至122°F)
防护等级:IP20
产品应用:
810-046015-010可用于各种半导体制造工艺中的蚀刻腔体温度控制应用,包括:
硅刻蚀
介质刻蚀
金属刻蚀

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