0190-17057 AMAT

主要特点和优势

Applied Materials 0190-17057 SCR 灯驱动器通常具备以下特点和优势:

精确的功率控制: 使用 SCR (可控硅整流器) 技术,能够精确地调节灯的功率输出,从而实现对工艺过程的精确控制。

多区域控制: 能够独立控制 15 个灯区域,实现更灵活和精细的温度分布控制。

稳定可靠: 专为工业应用设计,具有较高的可靠性和稳定性,能够在严苛的半导体制造环境下长时间稳定运行。

与 AMAT 设备集成: 作为 AMAT 的部件,该驱动器能够与 AMAT 的控制系统和其他模块无缝集成,确保系统的兼容性和稳定性。

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描述

产品概述

Applied Materials(AMAT)型号为 0190-17057 的产品是一款 SCR Lamp Driver (可控硅整流器灯驱动器),也称为 SCR Power Control (可控硅功率控制器)。 根据现有信息,该驱动器是 AMAT 型号 P1235A,通常用于 AMAT 的半导体制造设备中,尤其是在 Radiance 类型的设备中,用于控制和调节工艺腔室中灯的功率。 与型号 0190-17056 类似,它通常用于具有 15 个区域的灯控制。

技术规格

参数名称 典型特性
产品型号 0190-17057
制造商 Applied Materials (AMAT)
产品类型 SCR 灯驱动器 / SCR 功率控制器
适用设备 AMAT P1235A Radiance 等
控制区域 15 个区域
输入电压 208V (典型)
频率 50/60Hz
相数 三相
额定电流 500A (典型)

应用领域

Applied Materials 0190-17057 SCR 灯驱动器主要应用于 AMAT 的半导体制造设备中,用于控制工艺腔室中的灯,例如:

快速热处理 (RTP): 控制 RTP 设备中灯的功率,实现对晶圆的快速加热和冷却。 其他需要精确灯功率控制的工艺。

公司主营产品: FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、BENTLY、ROCKWELL、ABB、GE、Allen-Bradley、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth、SEW、丹控。
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