描述
产品概述
Applied Materials（AMAT）公司荣誉出品的 0190-14713 是一款高性能的真空压力传感器，专为在先进半导体制造设备中实现对真空环境的精确且可靠的压力测量而设计。作为 AMAT 精密自动化系统的关键组成部分，0190-14713 真空压力传感器能够实时监测工艺腔室、真空管路以及其他需要维持真空状态的关键部件的压力，为设备的稳定运行和工艺过程的精确控制提供至关重要的数据支持。这款 0190-14713 真空压力传感器以其卓越的测量精度、宽广的测量范围和优异的长期稳定性，在提升 AMAT 设备的自动化水平和产品质量方面发挥着关键作用。其紧凑的设计和标准的电气接口使其能够方便地集成到各种 AMAT 设备中，为用户提供稳定、可靠且易于使用的真空压力测量解决方案。
技术规格
应用领域
Applied Materials 0190-14713 真空压力传感器在半导体制造设备的多个关键环节中发挥着至关重要的作用：
工艺腔室真空监测：实时监测刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔室内的真空度，确保工艺在设定的真空条件下进行，保证工艺的稳定性和均匀性。
真空系统泄漏检测：精确监测真空系统的压力变化，帮助快速定位和排除泄漏点，提高设备的运行效率和可靠性。
真空泵性能监测：监测真空泵的入口和出口压力，评估真空泵的性能和运行状态。
晶圆传输系统真空控制：监测真空吸盘和真空机械手的压力，确保晶圆的安全可靠传输。
研发和实验室应用：在半导体制造相关的研发和实验室环境中，0190-14713 真空压力传感器也用于各种实验和测试的精确真空压力测量。
相关产品
与 0190-14713 真空压力传感器相关的产品包括：
0190-xxxxxx 系列真空压力传感器：AMAT 提供不同测量范围和接口类型的真空压力传感器，以满足不同的工艺需求。
真空计控制器：用于显示和处理 0190-14713 传感器的输出信号。
真空压力变送器：将 0190-14713 传感器的输出信号转换为其他标准信号，如 4-20 mA。
真空阀门：用于控制真空系统中的气体流动，并可与 0190-14713 传感器配合实现压力控制。
真空泵：用于产生和维持真空环境。
安装与维护
安装前准备：在安装 0190-14713 真空压力传感器之前，请务必仔细阅读产品手册，确保安装环境符合真空压力传感器的要求，包括温度和湿度。确认所测量的介质与传感器的兼容性。检查传感器的接口和连接器是否清洁无损。根据系统设计，选择合适的安装位置和连接方式，并确保连接的密封性，避免泄漏。安装过程中应避免对传感器施加过大的机械应力。
维护建议：为确保 0190-14713 真空压力传感器的长期稳定运行，建议定期进行维护。定期检查传感器的连接是否松动，电缆是否损坏或老化。保持传感器表面的清洁，避免灰尘和污染物堵塞压力接口。定期检查压力读数是否准确，如有偏差，应及时进行校准或更换。建议按照产品手册的指导进行定期的零点校准，以确保 0190-14713 的测量精度。避免在超出传感器额定压力范围的情况下使用。
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