描述
产品概述
Applied Materials（AMAT）公司荣誉出品的 0190-14177 是一款高性能的流量控制阀，专为在先进半导体制造设备中实现对工艺气体或液体流量的精确控制而设计。作为 AMAT 精密自动化系统的关键组件，0190-14177 流量控制阀能够根据控制信号精确地调节阀门的开度，从而控制流体的流量，满足各种严苛的工艺需求。这款 0190-14177 流量控制阀以其卓越的控制精度、快速的响应速度和高可靠性，在提升 AMAT 设备的自动化水平和工艺稳定性方面发挥着至关重要的作用。其紧凑的设计和标准的接口使其能够方便地集成到各种 AMAT 设备中，为用户提供稳定、高效且精确的流量控制解决方案。
技术规格
| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | 0190-14177 |
| 制造商 | Applied Materials (AMAT) |
| 产品类型 | 流量控制阀 |
| 控制类型 | 比例控制 |
| 驱动方式 | 电动或气动 (根据配置) |
| 阀体材质 | 根据应用介质选择 |
| 接口类型 | Swagelok 或 VCR |
| 流量范围 | 根据配置 |
| 流量系数 (Cv) | 根据配置 |
| 响应时间 | < 1 秒 (典型) |
| 控制信号 | 0-10 VDC 或 4-20 mA |
| 电源要求 | 根据驱动方式 |
| 工作温度 | 根据阀体材质和驱动方式 |
| 安装方式 | 管路连接 |
应用领域
Applied Materials 0190-14177 流量控制阀在半导体制造设备的多个关键环节中发挥着至关重要的作用：
工艺气体流量控制：精确控制刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺中各种反应气体的流量，确保工艺的稳定性和均匀性。
冷却液流量控制：精确控制设备冷却系统的冷却液流量，确保设备在合适的温度下运行。
化学品输送流量控制：精确控制清洗液、显影液等化学品在工艺过程中的输送流量。
真空系统气体流量调节：在真空系统中，调节引入少量气体的流量，以控制腔室压力或进行特定的工艺处理。
研发和实验室应用：在半导体制造相关的研发和实验室环境中，0190-14177 流量控制阀也用于各种实验和测试的精确流量控制。
