0190-09809 AMAT

应用领域

Applied Materials 0190-09809 运动控制模块在半导体制造设备的多个关键环节中发挥着核心作用:

晶圆传输系统:精确控制机械臂和传输平台的运动,实现晶圆在不同工艺站之间的精确、快速和安全的搬运。

光刻设备:控制工件台的精确定位和扫描运动,确保光刻图案的精确曝光。

刻蚀设备:控制晶圆在刻蚀腔室内的运动以及相关执行机构的动作,实现精确的材料去除。

薄膜沉积设备:控制晶圆在沉积腔室内的运动以及工艺头的运动,确保薄膜的均匀生长。

检测设备:控制传感器的扫描运动和晶圆的定位,实现对晶圆缺陷的精确检测。

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描述

产品概述

Applied Materials(AMAT)公司倾力打造的 0190-09809 是一款高性能的运动控制模块,专为在先进半导体制造设备中实现对精密运动轴的精确控制而设计。作为 AMAT 精密自动化系统的核心组成部分,0190-09809 运动控制模块能够精确地控制伺服电机或步进电机的速度、位置和扭矩,从而确保设备中关键部件(如机械臂、传输平台等)的运动轨迹和定位精度。这款 0190-09809 运动控制模块以其卓越的控制算法、快速的响应速度和强大的同步控制能力,在提升 AMAT 设备的自动化水平和生产效率方面发挥着至关重要的作用。其紧凑的设计和灵活的通信接口使其能够方便地集成到各种 AMAT 设备中,为用户提供稳定、高效且高精度的运动控制解决方案。

技术规格

参数名称 参数值
产品型号 0190-09809
制造商 Applied Materials (AMAT)
产品类型 运动控制模块
控制轴数 根据配置 (例如:1 轴或多轴)
控制模式 位置控制、速度控制、扭矩控制
反馈接口 增量式编码器、绝对式编码器
通信接口 EtherCAT
数字输入 根据配置
数字输出 根据配置
模拟输入 根据配置
模拟输出 根据配置
电源要求 24 VDC
工作温度 0°C 至 50°C
安装方式 板载安装或机架式安装

主要特点和优势

Applied Materials 0190-09809 运动控制模块专为满足半导体制造设备对精密运动控制的严格要求而设计,具备以下显著的特点和优势:

高精度运动控制:0190-09809 采用先进的控制算法,能够实现对伺服电机或步进电机的高精度位置、速度和扭矩控制,确保设备关键部件的运动轨迹和定位精度,这对于获得高质量的半导体器件至关重要。

快速响应速度:该运动控制模块具有极快的动态响应能力,能够迅速跟踪控制指令的变化,从而提高设备的运行效率和生产节拍。

强大的同步控制能力:0190-09809 支持多轴同步控制,能够协调多个运动轴的运动,实现复杂的运动轨迹和协同操作,满足先进半导体工艺的需求。

灵活的反馈支持:支持多种类型的编码器反馈,包括增量式和绝对式编码器,为用户提供了灵活的系统配置选项,并能满足不同应用场景的精度需求。

高速工业以太网通信:集成 EtherCAT 工业以太网接口,使得 0190-09809 能够与上位控制器和其他自动化设备进行高速、实时的通信,构建高效的自动化控制网络。

完善的保护功能:内置过流、过压和短路等保护机制,确保模块和连接的电机安全可靠运行。

紧凑的设计和易于集成:该运动控制模块设计紧凑,可以方便地进行板载安装或机架式安装,节省了设备内部的空间。

公司主营产品: FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、BENTLY、ROCKWELL、ABB、GE、Allen-Bradley、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth、SEW、丹控。
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