0190-08035 AMAT

应用领域

Applied Materials 0190-08035 压力传感器在半导体制造设备的多个关键环节中发挥着至关重要的作用:

工艺腔室压力监测:实时监测刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔室内的压力,确保工艺在设定的压力条件下进行。

气体管路压力监测:监测工艺气体输送管路中的压力,确保气体流量的稳定性和安全性。

真空系统压力监测:监测真空泵、真空阀门和真空管道的压力,确保真空系统的正常运行和泄漏检测。

设备安全监测:监测设备内部关键部件的压力,例如液压系统和气动系统,确保设备运行的安全性。

研发和实验室应用:在半导体制造相关的研发和实验室环境中,0190-08035 压力传感器也用于各种实验和测试的精确压力测量。

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描述

产品概述

Applied Materials(AMAT)公司荣誉出品的 0190-08035 是一款高性能的压力传感器,专为在先进半导体制造设备中实现精确且可靠的压力测量而设计。作为 AMAT 精密自动化系统的关键组成部分,0190-08035 压力传感器能够实时监测工艺腔室、气体管路以及其他关键部件的压力,为设备的稳定运行和工艺过程的精确控制提供至关重要的数据支持。这款 0190-08035 压力传感器以其卓越的测量精度、快速的响应速度和优异的长期稳定性,在提升 AMAT 设备的自动化水平和产品质量方面发挥着关键作用。其紧凑的设计和标准的电气接口使其能够方便地集成到各种 AMAT 设备中,为用户提供稳定、可靠且易于使用的压力测量解决方案。

技术规格

参数名称 参数值
产品型号 0190-08035
制造商 Applied Materials (AMAT)
产品类型 压力传感器
测量范围 根据配置 (例如:0-10 Torr)
精度 ±0.5% FS (满量程)
重复性 ±0.1% FS
响应时间 < 10 ms
输出信号 0-10 VDC
电源要求 24 VDC
工作温度 10°C 至 50°C
接口类型 Swagelok 或 VCR
电气接口 标准接头
安装方式 过程连接

主要特点和优势

Applied Materials 0190-08035 压力传感器专为满足半导体制造工艺对压力测量的严格要求而设计,具备以下显著的特点和优势:

高精度压力测量:0190-08035 能够实现对工艺气体和真空环境的高精度压力测量,确保工艺参数的准确性,这对于获得高质量的半导体器件至关重要。

快速响应速度:该压力传感器具有极快的响应速度,能够实时反映压力变化,为控制系统提供及时的反馈信号,从而实现对工艺过程的精确控制。

优异的长期稳定性:0190-08035 采用先进的传感技术和材料,具有出色的长期稳定性,能够在长时间运行下保持高精度的测量性能,减少校准需求。

广泛的测量范围:AMAT 提供不同测量范围的 0190-08035 压力传感器,以适应各种不同的工艺压力需求。

标准的输出信号:提供标准的 0-10 VDC 模拟输出信号,方便与各种控制系统和数据采集系统进行集成。

紧凑的设计和易于集成:0190-08035 具有紧凑的结构设计和标准的过程连接方式,方便安装到各种 AMAT 设备和气体管路中。

相关产品

0190-08035 压力传感器相关的产品包括:

0190-xxxxxx 系列压力传感器:AMAT 提供不同测量范围和接口类型的压力传感器,以满足不同的工艺需求。

压力变送器:将 0190-08035 传感器的输出信号转换为其他标准信号,如 4-20 mA。

压力控制器:接收 0190-08035 传感器的反馈信号,并控制相关执行机构(如阀门)调节压力。

真空计:用于测量更低压力范围的真空度。

压力校验仪:用于校准 0190-08035 压力传感器的精度。

安装与维护

安装前准备:在安装 0190-08035 压力传感器之前,请务必仔细阅读产品手册,确保安装环境符合压力传感器的要求,包括温度和湿度。确认所测量的介质与传感器的兼容性。检查传感器的接口和连接器是否清洁无损。根据系统设计,选择合适的安装位置和连接方式,并确保连接的密封性,避免泄漏。安装过程中应避免对传感器施加过大的机械应力。

维护建议:为确保 0190-08035 压力传感器的长期稳定运行,建议定期进行维护。定期检查传感器的连接是否松动,电缆是否损坏或老化。保持传感器表面的清洁,避免灰尘和污染物堵塞压力接口。定期检查压力读数是否准确,如有偏差,应及时进行校准或更换。建议按照产品手册的指导进行定期的零点和量程校准,以确保 0190-08035 的测量精度。避免在超出传感器额定压力范围的情况下使用。

产品保障

Applied Materials 对 0190-08035 压力传感器提供全面的质量保障。我们承诺,自购买之日起,在正常使用条件下,产品享有规定的质保期限。在质保期内,若因产品自身的制造缺陷导致故障,我们将提供免费的维修或更换服务。我们拥有专业的售后服务团队和经验丰富的技术工程师,能够为客户提供及时、高效的技术支持和故障排除服务,确保您的生产线稳定运行。Applied Materials 致力于为客户提供高品质、高性能的压力测量解决方案和完善的售后服务。

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