描述

VM-5H3 SHINKAWA

产品概述

VM-5H3 SHINKAWA是一款高精度、高可靠性的真空计，适用于各种工业应用，包括：

半导体制造

薄膜沉积

真空镀膜

分析仪器

泄漏检测

该真空计采用热偶传感器原理，可提供准确可靠的真空度测量。它具有以下特点：

测量范围：10^{-5}-1000 Torr

精度：±2%FS

重复性：±1%FS

响应时间：<1秒

接口：RS-232

产品参数

测量范围：10^{-5}-1000 Torr

精度：±2%FS

重复性：±1%FS

响应时间：<1秒

接口：RS-232

电源：AC 100-240V,50/60Hz

功耗：<10W

尺寸：120mm x 120mm x 60mm

重量：1kg

产品应用

VM-5H3 SHINKAWA真空计适用于各种工业应用，包括：

半导体制造：用于控制真空刻蚀、沉积和扩散等工艺

薄膜沉积：用于控制薄膜沉积的厚度和均匀性

真空镀膜：用于控制真空镀膜的厚度和均匀性

分析仪器：用于测量真空系统中的真空度

泄漏检测：用于检测真空系统中的泄漏

产品特点

高精度：VM-5H3 SHINKAWA真空计采用高精度热偶传感器，可提供准确可靠的真空度测量。

高可靠性：该真空计采用坚固耐用的设计，可承受恶劣的工业环境。

易于使用：该真空计操作简单，易于维护。

多功能：该真空计可用于各种工业应用。

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