COMPONENT SIDE AMAT

产品参数

  • 工艺：化学气相沉积（CVD）
  • 最大加工尺寸：300mm
  • 最大温度：1200°C
  • 气体流量范围：0~5000sccm
  • 气体种类：SiH4、NH3、N2、H2、He等
  • 控制系统：PLC控制系统
分类：
  • 销售经理：白佳乐
  • 电话：15340667322（微信同号）
  • QQ：3395949709
  • 山西省太原市杏花岭区解放路175号万达中心A座3301
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描述

COMPONENT SIDE AMAT

该产品是一种用于半导体制造行业的自动化制造系统，具有高效、稳定、可靠等特点。

产品规格

  • 外观尺寸：2500mm1500mm1800mm
  • 重量：2000kg
  • 电源：3相380V AC，50Hz

应用领域

该产品主要应用于半导体器件、平板显示器件、光电器件等领域，可用于沉积SiO2、Si3N4、SiC、SiGe等材料，广泛应用于半导体工艺中。

 

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Telco Systems M6077-40-2P USD

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