CMR 363 PFEIFFER

核心优势与技术亮点

普发真空 CMR 363 的核心优势在于其宽广的无缝测量范围、卓越的长期稳定性以及强大的系统集成能力。

宽广的无缝测量与智能技术切换：CMR 363 最突出的亮点是其覆盖了1,000 mbar至10⁻⁶ mbar的惊人测量范围。它内部智能地管理着压阻传感器和皮拉尼传感器，并在最佳点进行自动、平滑的切换，为用户提供连续、无跳变的压力读数。这种“一站式”的测量能力消除了使用多个单功能真空计的复杂性和成本，极大地简化了系统设计和布线。

卓越的稳定性与抗污染能力：该真空计采用了普发真空专有的、经过验证的皮拉尼传感器技术，具有卓越的长期稳定性和对常见工艺气体的强大抗污染能力。其传感器设计最大限度地减少了零点漂移和量程漂移，即使在苛刻的工业环境下也能保证测量的可靠性，减少了维护需求和校准频率，从而降低了总拥有成本。

强大的通信与控制功能：CMR 363 不仅仅是一个测量探头，更是一个智能控制单元。其集成的LCD显示屏提供清晰的本地读数。两个可自由配置的继电器可用于实现真空过程的自动控制，如粗抽泵与高真空泵的切换，或工艺步骤的触发。标准的RS-485接口和Modbus RTU协议使其能够轻松集成到几乎所有现代自动化网络中，实现远程监控、数据记录和设备参数配置，是构建工业4.0智能真空系统的理想选择。

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描述

详细参数表

参数名称 参数数值
产品型号 CMR 363
制造商 普发真空 Pfeiffer Vacuum
产品类别 全量程真空计
测量技术 压阻式皮拉尼复合真空计
压力测量范围 1.0 x 10⁵ Pa … 1.0 x 10⁻⁴ Pa (1000 mbar … 10⁻⁶ mbar)
精度 ±30% (1 x 10⁻⁴ 至 1 x 10⁻³ Pa)， ±15% (其他范围，典型值)
显示与控制 集成LCD显示屏，双设定点继电器
输出信号 0-10 V DC 线性模拟量输出
通信接口 RS-485 (支持Modbus RTU协议)
传感器连接 标准DIN 40 KF法兰
供电电源 24 V DC
防护等级 IP40

产品简介

普发真空 CMR 363 是一款高性能、模块化的全量程真空测量仪表，完美结合了压阻技术（用于中高真空范围）和皮拉尼技术（用于中低真空范围）。该产品能够在一个紧凑的单元内实现从大气压到高真空的宽范围、连续压力测量，无需在不同压力段切换不同的真空计。CMR 363 的核心价值在于为复杂的真空工艺提供了一种简化、可靠且高性价比的监控解决方案。

作为普发真空模块化测量产品线的重要成员，CMR 363 的技术定位是满足工业真空应用中对可靠性、集成便利性和智能通信的日益增长的需求。在半导体制造、镀膜、热处理、分析仪器及科研实验等自动化真空系统中，CMR 363 扮演着“过程之眼”的关键角色。它持续监测真空腔体的压力状态，并通过其模拟量和数字接口将压力数据实时传送给PLC或中央控制系统，是实现精确工艺控制、安全联锁和序列自动化的基础。

典型应用场景

普发真空 CMR 363 凭借其宽量程和高可靠性，在众多需要精确真空监测和控制的工业及科研领域发挥着关键作用。

在半导体前端制造和后端封装工艺中，CMR 363 被广泛应用于PVD、CVD、蚀刻和离子注入设备的真空腔体，全程监控从大气破空到高真空工艺完成的每一个压力阶段。在光学镀膜和装饰镀膜生产线中，它精确监测蒸发或溅射过程中的真空度，确保膜层厚度和质量的一致性。

在热处理行业（如真空钎焊、烧结炉）和加速器、同步辐射等大型科研装置中，CMR 363 提供可靠的真空监测，保障工艺安全和设备正常运行。此外，在电子显微镜、质谱仪等高端分析仪器中，它也是维持和分析仪器内部工作环境真空度的核心传感器。

相关型号推荐

  • CMR 361：与CMR 363 同系列，可能在某些功能（如通信接口或继电器数量）上有所不同。
  • CMR 365：可能是该系列中功能更全面的型号，例如提供更多的继电器或更高级的通信选项。
  • PKR 361：普发真空的紧凑型皮拉尼真空计，适用于不需要压阻式大气测量段的纯中低真空应用。
  • TTR 系列：普发真空的潘宁真空计，适用于CMR 363 范围之外的高真空和超高真空测量。
  • ACP 系列：普发真空的通用前级泵/粗抽泵，与CMR 363 监控的真空系统配套使用。
  • HIPACE 系列：普发真空的涡轮分子泵，与CMR 363 协同工作，用于建立和维持高真空。

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