描述
简要说明:
PFEIFFER CMR 362 是德国普发真空在CMR 361基础上革新升级的一款全量程、双通道真空计模块。它创新性地在一个紧凑单元内集成了两个完全独立的皮拉尼和压阻复合传感器,可同时监控两个独立的真空点,为用户提供了无与伦比的系统集成度和性价比。
应用场景:
在华南某大型OLED显示屏蒸镀设备的真空集群系统中,主工艺腔室与相邻的传输腔室、以及送料锁的真空状态需要被独立且同步地监控。传统的方案需要为每个腔室单独配置一台真空计,导致控制柜内线路繁杂、成本高昂。设备制造商创新性地采用了 PFEIFFER CMR 362 双通道真空计,仅用一台设备就完美替代了两台CMR 361,同步监控了传输腔和送料锁的压力。这不仅简化了布线,节省了柜内空间,更通过统一的通信接口将两个测点的数据高效上传,实现了真空系统状态的集中、同步管理,设备紧凑度和可靠性显著提升。
核心参数速览:
| 主要参数 | 数值/说明 |
|---|---|
| 产品型号 | CMR 362 |
| 制造商 | PFEIFFER |
| 产品类别 | 双通道全量程真空计模块 |
| 测量原理 | 皮拉尼 (Pirani) + 压阻 (Piezo) 复合原理 (每通道独立) |
| 测量范围 | 1000 mbar 至 1 x 10⁻⁴ mbar (每通道) |
| 压力显示 | 高对比度LCD,可同时或分时显示双通道压力值 |
| 信号输出 | 2路模拟量输出 (可配置为通道1或通道2) |
| 继电器报警 | 3路继电器,可自由分配给任一通道的报警功能 |
| 通信接口 | RS 485,支持Modbus RTU协议 |
| 电源电压 | 24 V DC |
| 过程连接 | 2 x DN 16 ISO-KF 法兰 |
| 核心优势 | 双通道独立测量,高性价比,节省空间,简化集成 |

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