CMR 361 PFEIFFER

应用场景：

在华东某知名光伏企业的薄膜太阳能电池镀膜生产线中，真空腔室内的压力控制是工艺成败的核心。从大气环境开始抽真空，需要快速、稳定地穿越多个压力量程，任何测量盲区或切换波动都可能导致工艺启始点的误判或镀膜质量的不均。产线工程师在每个腔室都配备了 PFEIFFER CMR 361 真空计。它从粗真空开始就提供可靠读数，平滑过渡到高真空阶段，其稳定的信号为工艺程序提供了精确的步进触发点，确保了每一批次产品在完全一致的真空环境下开始沉积，显著提升了电池片的转换效率一致性。这个案例凸显了 CMR 361 在解决“如何实现从大气到高真空的全流程、无扰、可靠监控”这一真空应用核心痛点上的卓越价值。

分类：
  • 销售经理：白佳乐
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描述

简要说明：

PFEIFFER CMR 361 是隶属于德国普发真空集团的一款全量程、紧凑型真空计模块。它完美集成了皮拉尼和压阻式两种测量原理，能够从大气压到高真空（1000 mbar 至 10-4 mbar）进行无缝、连续的精确测量，是真空工艺过程中进行全程压力监控的理想“全能选手”。

核心参数速览：

主要参数 数值/说明
产品型号 CMR 361
制造商 PFEIFFER
产品类别 全量程真空计模块
测量原理 皮拉尼 (Pirani) + 压阻 (Piezo) 复合原理
测量范围 1000 mbar 至 1 x 10⁻⁴ mbar (4个数量级，无缝覆盖)
压力显示 带背光的数字LCD显示屏，清晰直观
信号输出 2路模拟量输出 (0-10 V)，3路继电器触点
通信接口 RS 485，支持Modbus RTU协议
电源电压 24 V DC (标准工业安全电压)
过程连接 DN 16 ISO-KF 法兰 (标准真空接口)
传感器加热时间 < 5 分钟 (快速启动，提升效率)
认证标准 CE， RoHS

技术原理与创新价值：

  • 创新点1：皮拉尼与压阻技术的智能融合
    PFEIFFER CMR 361 的核心创新在于其内部智能切换机制。在低真空阶段（~1000至10⁻² mbar），利用皮拉尼原理，通过测量加热元件的电阻变化来感知气体热传导率，从而确定压力。在中高压阶段（1000至1 mbar），自动切换到更精确的压阻传感器，直接感知气体压力。这种融合确保了在整个量程内，始终使用当前最合适的原理进行测量，实现了最优的精度与稳定性。
  • 创新点2：全自动量程切换与无缝输出
    该设备内部处理器会自动、平滑地完成两种传感器数据的管理与量程切换，用户无需关心当前处于哪个压力阶段。它提供一个连续、稳定的模拟量输出信号，彻底避免了传统方案中因切换不同真空计而导致的信号跳变与控制扰动，极大简化了系统集成与程序设计。
  • 创新点3：紧凑集成与强大通信能力
    CMR 361 将传感器、信号处理电路、显示单元和通信模块高度集成于一个紧凑的壳体之内。其集成的RS485接口和Modbus RTU协议，使其可以轻松接入中央控制系统（如西门子 S7-1500 PLC或艾默生 DeltaV），实现真空压力的远程监控、数据记录和报警管理，是构建智能化、网络化真空系统的关键节点。

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