CLX-2500 FP1336R2 COMDEL

描述

详细参数表

产品简介

COMDEL CLX-2500 FP1336R2是COMDEL公司CLX系列中的一款高性能、高频率的固态射频电源发生器，额定输出功率为2500瓦。该产品专为 demanding 的工业加热、等离子体产生和半导体工艺应用而设计，代表了在精确功率控制和频率稳定性方面的先进水平。CLX-2500 FP1336R2的核心功能是将工频交流电转换为50kHz至250kHz范围内可精确控制的高频、高功率交流输出，用于驱动感应线圈、电极等负载，实现高效、清洁的非接触式能量传输。

作为COMDEL高性能电源系列的代表，CLX-2500 FP1336R2在先进的制造系统中扮演着“精密能量源”的角色。其高度可编程的输出特性允许用户精确匹配负载的动态变化，这对于维持稳定的等离子体或实现可重复的加热工艺至关重要。这款电源发生器的技术定位是满足高端工业应用中对功率密度、控制精度和可靠性有极致要求的场合，是提升工艺质量和生产效率的关键赋能部件。

核心优势与技术亮点

COMDEL CLX-2500 FP1336R2的核心优势在于其卓越的频率灵活性、精确的功率控制以及强大的系统集成与诊断能力。

卓越的频率灵活性与自动匹配：CLX-2500 FP1336R2提供宽广的输出频率范围（50kHz – 250kHz），并且频率可在整个范围内精确编程。许多型号还集成了自动频率跟踪和阻抗匹配网络，能够动态调整输出频率以匹配负载阻抗的变化，确保在工艺过程中（如材料特性变化导致负载变化时）始终保持最高的功率传输效率，这对于维持等离子体过程的稳定性和重复性至关重要。

精确的功率控制与高效率：该电源采用先进的固态逆变技术和全数字控制环路，实现了对输出功率的快速、精确闭环控制。用户可以通过模拟信号（0-10V）或数字通信接口（RS-485/Modbus）设定和调节功率水平，控制精度高。其超过90%的转换效率不仅减少了能源浪费，也降低了散热需求，使得CLX-2500 FP1336R2结构更为紧凑，运行更为可靠。

强大的系统集成与智能诊断：CLX-2500 FP1336R2设计有完善的通信和监控功能。标准的RS-485接口和支持的Modbus RTU协议使其能够轻松集成到工厂的自动化控制网络中，实现远程设置、数据记录和集中监控。前面板的数字显示屏和LED指示灯提供实时的运行参数和状态信息。其全面的保护功能（过流、过压、过热、电弧检测）不仅能保护电源自身，也能防止因电源异常而对昂贵的工艺腔室或工件造成损坏。

典型应用场景

COMDEL CLX-2500 FP1336R2广泛应用于半导体制造、平板显示、太阳能电池生产以及高级材料处理等高科技工业领域。在半导体领域的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、刻蚀（Etch）和清洗工艺中，CLX-2500 FP1336R2为反应腔室内的电极提供稳定、纯净的高频能量，用于激发和维持工艺等离子体，其功率和频率的稳定性直接影响到薄膜沉积的均匀性、刻蚀的速率和选择性。

在感应加热应用中，如晶体生长、区域熔炼或高端金属件的钎焊，CLX-2500 FP1336R2用于驱动感应线圈，对材料进行局部或整体加热。其精确的功率控制确保了精确的温度曲线。此外，在科研实验装置、光谱分析光源的激发等领域，也常见CLX-2500 FP1336R2的身影。在这些尖端应用中，用户的核心需求是一个能够提供极其稳定、纯净且可控的高频功率源，而CLX-2500 FP1336R2正是为此而生。

相关型号推荐

1. CLX-5000 FP1336R2：5000W功率型号，是CLX-2500 FP1336R2的功率升级版本。

2. CLX-1500 FP1336R2：1500W功率型号，适用于功率需求稍低的应用场合。

3. COMDEL GP系列：COMDEL的另一款通用型射频电源系列，在特定应用中可作为功能参考。

4. COMDEL 匹配网络（如MN-1000）：外置阻抗匹配网络，与CLX-2500 FP1336R2配套使用，以优化功率传输。

5. COMDEL RPC-1：远程功率控制器或通信接口卡，用于增强CLX-2500 FP1336R2的控制功能。

6. COMDEL CKC-50：同轴电缆组件，用于连接CLX-2500 FP1336R2与负载。

服务与保障承诺

COMDEL为CLX-2500 FP1336R2高频电源发生器提供严谨的质量保证与专业的技术支持。产品自出厂之日起享有标准的保修期，承诺对任何经确认的材料或工艺缺陷提供维修服务。我们依托专业的技术团队和应用知识，为客户提供从初始选型、系统集成支持到现场调试指导的全流程协助。我们坚信CLX-2500 FP1336R2的卓越性能与可靠性将为您的关键工艺过程提供坚实的动力保障，并致力于通过及时有效的技术支持，确保您设备的持续稳定运行和工艺目标的有效达成。

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