描述
产品概述
MKS Instruments 的 AX8410-28HC MKS 是一款专为超高流量、超高浓度臭氧应用而设计的顶级臭氧发生器。作为 MKS Instruments SEMOZON® 系列的旗舰产品，它融合了先进的电晕放电技术和优化的气体流道设计，能够将高纯度氧气高效转化为高浓度、超洁净的臭氧，以满足半导体制造、LED生产以及先进封装等领域对大通量工艺气体最苛刻的需求。AX8410-28HC MKS 的设计核心在于提供无与伦比的性能和可靠性，确保在连续、大批量生产中保持臭氧流量和浓度的绝对稳定。其超低污染物（如氮氧化物）的特性，有效保障了敏感工艺的成品率和器件性能，使得 AX8410-28HC MKS 成为目前市场上最高效、最可靠的高端臭氧发生器之一。
技术规格
主要特点和优势
AX8410-28HC MKS 凭借其专为超大规模生产而设计的特性，提供了多项核心竞争优势。
超高流量与产能：AX8410-28HC MKS 最显著的优势是其出色的高流量和高量能力，最高可达 300 g/hr。这使其能够轻松应对大尺寸晶圆（如450mm）制造中对大通量臭氧的需求，特别是在多腔室并行处理或需要快速处理的工艺中。这种高产出能力直接转化为更高的生产效率和更短的工艺周期，极大地提升了工厂的产能。
极高的工艺纯度与一致性：该设备采用 MKS 专利的电晕放电技术，能够将高纯度氧气高效转化为臭氧，同时将氮氧化物等副产物降至极低水平。这确保了臭氧流的超洁净特性，对于避免在敏感半导体制造过程中引入污染物至关重要。AX8410-28HC MKS 精确的流量和浓度控制，保证了每一批次生产的一致性，从而提高了成品率。
高可靠性和易于集成：作为一款顶级工业级产品，AX8410-28HC MKS 拥有坚固耐用的设计和经过生产验证的可靠性。其模块化结构和丰富的远程控制接口，使得它能够轻松地集成到现有的自动化生产线和设备控制系统中，实现远程监控和自动化操作。这不仅简化了系统设计，也降低了运营和维护的复杂性。
应用领域
AX8410-28HC MKS 臭氧发生器是尖端半导体制造、LED生产和光伏电池制造等行业的关键设备。在半导体制造中，它被广泛应用于原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）工艺，作为高活性的氧化剂源，用于生长高质量的介电薄膜和高-k栅极电介质。在光刻胶剥离工艺中，AX8410-28HC MKS 的高流量臭氧可以有效、快速地去除晶圆表面的光刻胶残留，提高清洗效率。此外，它在晶圆表面改性、氧化物生长以及去除微量有机污染物等应用中也扮演着重要角色。其高洁净度和高流量特性，使其特别适合于大批量生产和对工艺速度有严格要求的场景。
安装与维护
安装前准备：在安装 AX8410-28HC MKS 之前，必须确保供电电源、水冷系统和高纯度氧气源都符合设备规格。所有与臭氧接触的管道和接头都必须选用耐腐蚀材料，并确保连接处无泄漏。由于 AX8410-28HC MKS 属于高流量设备，其安装位置需预留足够的空间用于通风和日常维护。建议由MKS认证的专业技术人员进行安装，以确保设备的正确部署和安全运行。
维护建议：对 AX8410-28HC MKS 的日常维护主要包括定期检查冷却水质和流量，确保冷却系统高效运行。此外，应定期检查进气管路的洁净度，防止杂质进入影响设备性能。由于其内部结构复杂且包含高压部件，用户不应自行拆解设备。任何内部故障或性能下降都需要由MKS认证的专业技术人员进行诊断和维修。通过遵循制造商推荐的预防性维护计划，可以最大限度地保障设备性能和延长其使用寿命。
产品保障
MKS Instruments 为 AX8410-28HC MKS 提供了全面的质量保证和技术支持。每一台 AX8410-28HC MKS 臭氧发生器在出厂前都经过了严苛的性能测试，确保其在最苛刻的工业环境中都能稳定可靠地运行。我们提供全球范围内的技术支持，包括远程故障诊断、现场服务和快速的备件供应，以确保您的生产线不会因设备问题而中断。MKS 还提供专业的维修和翻新服务，通过使用原厂零件和测试流程，确保您的投资得到长期保护。我们对 AX8410-28HC MKS 的卓越性能和持久可靠性充满信心，致力于为客户提供无与伦比的服务体验。
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