描述
产品概述
MKS Instruments 的 AX8407A MKS 是一款专为高流量、高纯度臭氧应用而设计的高性能臭氧发生器。作为 MKS Instruments 臭氧发生器产品线中的关键一员，AX8407A MKS 利用先进的电晕放电技术，能够高效地将高纯度氧气转化为超洁净的臭氧，满足半导体、LED以及光伏产业中对工艺气体纯度有极致要求的应用。这款设备凭借其高产量和卓越的稳定性，在原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）和光刻胶剥离等关键工艺中发挥着至关重要的作用。它不仅能够提供持续稳定的高浓度臭氧流，而且其超低污染物的特性，特别是氮氧化物（NOx）的极低含量，有效保证了敏感工艺的成品率和可靠性，使得 AX8407A MKS 成为新一代半导体制造设备的理想选择。
技术规格
主要特点和优势
AX8407A MKS 凭借其专为大规模生产而优化的设计，在工业应用中展现出多项核心优势。
超高产出与效率：AX8407A MKS 的突出特点是其高达 300 g/hr 的臭氧产量，这使其能够满足大尺寸晶圆（如300mm和450mm）制造工艺中对高流量臭氧的需求。这种高产量特性大大缩短了工艺周期，提高了整体生产效率。在需要快速表面处理和薄膜沉积的场景下，AX8407A MKS 的性能优势尤为明显。
极高的工艺纯度与一致性：该设备采用专利电晕放电技术，能够将高纯度氧气高效转化为臭氧，同时将氮氧化物等副产物降至极低水平。这确保了臭氧流的超洁净特性，对于避免在敏感半导体制造过程中引入污染物至关重要。AX8407A MKS 精确的流量和浓度控制，保证了每一批次生产的一致性，从而提高了成品率。
高可靠性和易于集成：作为一款工业级产品，AX8407A MKS 拥有坚固耐用的设计和经过生产验证的可靠性。其模块化结构和丰富的远程控制接口，使得它能够轻松地集成到现有的自动化生产线和设备控制系统中，实现远程监控和自动化操作。这不仅简化了系统设计，也降低了运营和维护的复杂性。
应用领域
AX8407A MKS 臭氧发生器是尖端半导体制造、LED生产和光伏电池制造等行业的关键设备。在半导体制造中，它被广泛应用于原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）工艺，作为高活性的氧化剂源，用于生长高质量的介电薄膜和高-k栅极电介质。在光刻胶剥离工艺中，AX8407A MKS 的高流量臭氧可以有效、快速地去除晶圆表面的光刻胶残留，提高清洗效率。此外，它在晶圆表面改性、氧化物生长以及去除微量有机污染物等应用中也扮演着重要角色。其高洁净度和高流量特性，使其特别适合于大批量生产和对工艺速度有严格要求的场景。
相关产品
AX8407A MKS 属于 MKS 的 SEMOZON® 系列，通常与其他 MKS 产品配合使用，以构建完整的工艺气体输送系统。
- AX8403A MKS: 较低流量的紧凑型臭氧发生器，适用于较小规模或研发应用。
- AX8410 PRIME: 超高流量和高浓度的臭氧发生器，针对对效率有更高要求的工艺。
- AX8580: 一体化模块化臭氧输送系统，可将多个 AX8407A MKS 集成，以支持多通道或大批量生产。
- Mass-Flo® 控制器: MKS 的质量流量控制器，用于精确控制进入 AX8407A MKS 的氧气流量。
- 压力控制器: 用于精确控制 AX8407A MKS 系统中的气体压力。
- HPS® Products: 各种高纯度真空组件和阀门，用于构建洁净的气路系统。
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