AX8407A/0190-17159 MKS

相关产品

与 MKS AX8407A/0190-17159 相关的产品可能包括：

  • MKS ASTeX 系列其他臭氧发生器: MKS ASTeX 提供不同浓度和流量规格的臭氧发生器，以满足不同的应用需求。
  • MKS 气体流量控制器: 用于精确控制输入到臭氧发生器的氧气流量。
  • MKS 压力传感器和控制器: 用于监测和控制臭氧发生器的运行压力。
  • 臭氧检测仪: 用于监测环境中的臭氧浓度，确保安全。
  • 下游工艺设备: 例如用于晶圆处理的反应腔体等。

安装与维护：安装前准备：在安装 MKS AX8407A/0190-17159 臭氧发生器之前，请务必仔细阅读相关的安装手册，确保安装环境符合技术规格要求，例如温度、湿度和通风条件。检查电源和气体输入接口是否符合要求。按照手册要求连接氧气气源和臭氧输出管路，并确保连接的密封性。

维护建议：为了确保 MKS AX8407A/0190-17159 臭氧发生器的长期稳定运行，建议定期进行维护保养。按照手册要求定期检查气体管路和接口是否有泄漏。定期检查冷却系统是否正常工作。根据手册建议定期更换或清洁相关部件。建议由经过培训的专业人员进行维护和故障排除。

分类：
  • 销售经理：白佳乐
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描述

产品概述

MKS AX8407A/0190-17159 是 MKS Instruments 旗下 ASTeX 品牌生产的一款高浓度、高流量的臭氧发生器。该型号通常被应用于半导体制造、平板显示器生产以及其他需要精确且高纯度臭氧源的工业领域。 1 MKS AX8407A/0190-17159 臭氧发生器利用先进的技术将氧气转化为臭氧，并能够提供稳定且可控的臭氧输出，以满足各种工艺需求。作为 MKS ASTeX 系列产品，该设备以其高可靠性、高效率和精确的控制能力而著称。在半导体制造等关键应用中，MKS AX8407A/0190-17159 臭氧发生器被广泛用于晶圆表面的清洁、氧化以及其他需要臭氧参与的工艺步骤，对于提高生产效率和产品质量至关重要。  

主要特点和优势

MKS AX8407A/0190-17159 臭氧发生器通常具备以下特点和优势：

高浓度臭氧输出：该型号设计用于产生高浓度的臭氧，能够满足对臭氧浓度有严格要求的工艺应用。

高流量能力：MKS AX8407A/0190-17159 能够提供较高的臭氧输出流量，适用于需要大批量臭氧的工业过程。

精确的控制：MKS ASTeX 臭氧发生器通常具有精确的臭氧输出控制能力，能够根据工艺需求进行灵活调节。

高可靠性：作为知名的半导体设备供应商，MKS Instruments 的产品以其高可靠性和稳定性而闻名，AX8407A/0190-17159 预计也具备这一特点。

先进的生成技术：采用先进的臭氧生成技术，确保高效、稳定地产生高纯度的臭氧。

适用于多种应用：高浓度、高流量的特性使其适用于多种工业应用，尤其是在半导体和显示器制造领域。

应用领域

MKS AX8407A/0190-17159 臭氧发生器主要应用于以下领域：

  • 半导体制造: 用于晶圆表面的清洁、氧化、光刻胶去除等工艺。
  • 平板显示器制造: 用于玻璃基板的清洁、有机材料的氧化等工艺。
  • 其他工业应用: 可能用于水处理、表面改性、材料合成等需要高浓度臭氧的场合。

产品保障

MKS Instruments 对其 AX8407A/0190-17159 臭氧发生器提供标准的质量保证。所有产品在出厂前都经过严格的测试和检验，以确保其性能符合技术指标。在正常使用条件下，MKS AX8407A/0190-17159 享有保修服务，具体的保修期限和条款请参考购货合同。MKS Instruments 拥有完善的全球服务网络，能够为客户提供及时的技术支持和维修服务，保障客户设备的正常运行。我们致力于提供高品质的工业设备和卓越的客户服务，MKS AX8407A/0190-17159 是您值得信赖的高性能臭氧解决方案。

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