AX8403A MKS

安装与维护

安装前准备：在安装 AX8403A MKS 之前，请确保供电电压和频率与设备规格相符，并提供稳定、高质量的冷却水源。确认进气管路（高纯度氧气和氮气）的洁净度，并确保所有连接均无泄漏。由于臭氧的腐蚀性，所有与臭氧接触的管路和配件都必须是耐腐蚀材料。安装 AX8403A MKS 时，应确保其位于通风良好的区域，并严格遵循制造商提供的安装指南。

维护建议：对 AX8403A MKS 的日常维护主要集中在冷却系统和进气管路的检查上。定期检查冷却水质，确保其符合制造商要求，并检查有无泄漏。清洁设备外部，保持其通风口的通畅。由于设备内部无用户可更换的易损件，任何内部故障或性能下降都需要由 MKS 认证的技术人员进行专业诊断和维修。通过定期执行制造商推荐的预防性维护计划，可以最大限度地延长 AX8403A MKS 的使用寿命。

产品保障

MKS Instruments 为 AX8403A MKS 提供了业界领先的质量保证和技术支持。每一台 AX8403A MKS 臭氧发生器均在 MKS 的严格质量体系下制造和测试，确保其性能和可靠性达到最高标准。我们提供全球范围内的技术支持，包括远程故障诊断、现场服务以及零部件供应，以确保您的生产线持续高效运行。MKS 还提供“等同于新”的翻新服务，通过使用原厂零件和测试流程，使旧设备恢复到出厂性能，帮助客户保护其高资本投资。我们对 AX8403A MKS 的卓越性能和持久可靠性充满信心，并致力于为客户提供无与伦比的服务体验。

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  • 销售经理：白佳乐
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描述

产品概述

MKS Instruments 的 AX8403A MKS 是一款专为半导体制造和高科技工业应用设计的高浓度、超洁净臭氧发生器。作为 MKS AX8403A MKS 系列的一部分，它利用先进的电离技术，将高纯度氧气高效转化为臭氧，以满足对工艺气体纯度有极高要求的应用。这款臭氧发生器采用紧凑型设计，同时提供卓越的臭氧浓度和流量，确保了在原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）和光刻胶剥离等关键工艺中的稳定性和可重复性。凭借其独特的专利电解池技术和生产验证设计，AX8403A MKS 在提供高纯度臭氧的同时，将氮氧化物（NOx）等污染物降至极低水平，从而有效提升了半导体器件的成品率和性能。

技术规格

参数名称 参数值
产品型号 AX8403A MKS
制造商 MKS Instruments
产品类型 臭氧发生器
最大臭氧产量 160 g/hr (典型值)
流量范围 5-20 slm
进气气体 高纯度氧气（Grade 6或更佳），高纯度氮气（作为掺杂剂）
冷却方式 水冷
控制接口 前面板控制和远程操作
工作环境温度 10°C 至 40°C
外形尺寸 紧凑型设计，具体尺寸需参考手册
合规性 CE, ETL, CSA等

主要特点和优势

AX8403A MKS 凭借其专为半导体行业优化的设计，具备多项核心特点和竞争优势。

高浓度和超洁净的臭氧输出：AX8403A MKS 采用 MKS 专利的电解池技术，能够产生高浓度且纯度极高的臭氧。它对掺杂氮气量的需求极低，因此产生的臭氧中污染物（如氮氧化物）含量极低，这对于确保半导体制造过程的洁净度至关重要。这种超洁净特性直接有助于提高晶圆的成品率。

高可靠性和低维护成本：该设备基于经过验证的生产设计，具有出色的长期稳定性和可靠性。AX8403A MKS 采用全焊接结构和高纯度湿润材料，最大限度地减少了污染源。其坚固耐用的设计意味着更长的使用寿命和更少的停机时间，从而降低了总拥有成本。

紧凑且易于集成：尽管性能强大，AX8403A MKS 仍保持了紧凑的外形，易于集成到空间有限的半导体制造设备中。其灵活的控制接口和通信选项使其能够轻松地与现有设备和自动化系统无缝连接，简化了系统架构和部署。

应用领域

AX8403A MKS 臭氧发生器主要应用于对气体纯度和浓度有严苛要求的半导体制造工艺。在晶圆加工中，它被用于原子层沉积（ALD），提供高活性的氧化剂，实现纳米级薄膜的精确生长。在化学气相沉积（CVD）中，AX8403A MKS 作为氧化源，用于制备高质量的介电薄膜。此外，它还广泛应用于光刻胶剥离、晶圆清洗、表面改性以及氧化物生长等工艺，作为传统湿化学工艺的环保替代方案。其高洁净度特性使其成为去除晶圆表面微量有机污染物和残留物的理想选择，从而确保后续工艺的成功。

相关产品

AX8403A MKS 属于 MKS 的 SEMOZON® 系列臭氧发生器，与其相关的其他型号通常用于不同流量或浓度需求的类似应用。

  • AX8400 Series: 包含 AX8403A MKS 的整个系列，提供不同流量和产量的型号。
  • AX8407: 高流量臭氧发生器，适用于需要更高流量的应用。
  • AX8410 PRIME: 超高流量和高浓度的臭氧发生器，针对对效率有更高要求的工艺。
  • AX8200A: 另一款紧凑型臭氧发生器，适用于较小规模的应用或替代旧型号。
  • AX8580: 一体化模块化臭氧输送系统，可集成多个 AX8403A MKS 或其他发生器，以支持多通道或大批量生产。

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