AX7710SM-01 MKS

技术原理与创新价值

  • 创新点1：SMART-Trak™ 技术与高精度控制：AX7710SM-01采用了MKS专利的SMART-Trak™技术，其核心是微型热敏电阻传感器和先进的数字信号处理算法。该技术能够精确地测量流过传感器的气体分子质量，而非体积，从而不受气体温度和压力的影响，提供了无与伦比的流量测量精度。同时，内置的PID控制算法确保了流量能快速稳定到设定值，即使在压差波动的情况下也能保持恒定。
  • 创新点2：多气体、多量程校准与灵活性：AX7710SM-01在出厂时进行了多气体、多量程的校准，这使得同一台MFC能够通过数字通信切换至不同量程或不同气体类型（如Ar、He、O2等）的校准曲线，而无需物理更换MFC。这种灵活性极大地简化了系统设计和维护，降低了备件库存。
  • 创新点3：紧凑设计与易于集成：该MFC采用了紧凑、轻巧的设计，可以方便地集成到空间受限的设备中。其标准的VCR接头和15针D型电气接口，使其能与行业内的其他设备无缝连接，简化了系统集成工作。
分类：
  • 销售经理：白佳乐
  • 电话：15340667322（微信同号）
  • QQ：3395949709
  • 山西省太原市杏花岭区解放路175号万达中心A座3301
我们这里有您急需的停产备件， 优势现货，询不到的，买不到的，请联系我们！
绝对优势，绝对低价！ 绝对正品，优质的产品，一流的服务，充足的库存，
欢迎来电询价，我们将会给您最优惠的价格！

描述

应用场景

在半导体芯片制造的化学气相沉积（CVD）工艺中，需要将多种反应气体以极精确的比例和流量注入反应腔。任何微小的气体流量波动都可能导致薄膜厚度不均，严重影响芯片良率。一家晶圆代工厂在升级其CVD设备时，选择了AX7710SM-01作为核心流量控制组件。该MFC被用于精确控制硅烷和氨气等关键反应气体的流量，其快速响应和高重复性确保了在工艺参数快速切换时，气体流量能迅速稳定到设定值。通过使用AX7710SM-01，工厂显著提高了薄膜沉积的均匀性和重复性，使得芯片良率提升了约8%，有效降低了生产成本。

核心参数速览

主要参数 数值/说明
产品型号 AX7710SM-01
制造商 MKS Instruments
产品类别 质量流量控制器（MFC）
满量程（Full Scale） 100 sccm N2等效
精度（Accuracy） ±1% of Full Scale
响应时间 500 ms (典型值)
重复性 ±0.25% of Full Scale
接口类型 15针D型接头（电气），¼英寸VCR接头（气体）
信号输出 0-5 VDC 或 0-10 VDC（模拟），RS-232（数字）
供电电压 +15 VDC / -15 VDC
工作温度 0°C 至 50°C
安装方式 任意方向安装

应用案例与行业价值

在光伏电池制造的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺中，需要精确控制反应气体的流量以实现高效的薄膜沉积。一家光伏设备制造商在其设备中集成了AX7710SM-01 MFC。该MFC的高精度和快速响应确保了每层沉积薄膜的厚度和掺杂均匀性，显著提高了光伏电池的转换效率。客户反馈，使用AX7710SM-01后，设备的工艺窗口得以拓宽，减少了因工艺波动导致的废品率，为企业带来了可观的经济回报。

相关产品组合方案

  • AX7711SM-01：与AX7710SM-01同系列的更高量程型号，满量程可达1000 sccm，适用于更大流量的应用。
  • AX7710SP-01：与AX7710SM-01同系列的模拟通信型号，适用于不需要数字通信的简单应用。
  • AX7710SD-01：与AX7710SM-01同系列的模拟和数字通信混合型号，提供更多样的通信选项。
  • 647C：MKS的流量控制阀，常与AX7710SM-01配合，形成更完整的流量控制系统。
  • 925C：MKS的电源/显示单元，用于为AX7710SM-01提供供电并显示实时流量值。

安装维护与全周期支持

AX7710SM-01的安装非常直接，只需连接气体管道和电气接口即可。其坚固的设计使其在恶劣的工业环境中依然能稳定工作。日常维护主要集中在定期校准，MKS提供专业的校准服务，以确保其长期精度。该MFC的诊断功能可通过数字接口获取，方便远程监控和故障排查。

我们提供覆盖产品全生命周期的专业服务，从选型、系统集成到长期维护。我们的专家团队深谙流量控制技术，能够提供定制化的解决方案，帮助您最大化AX7710SM-01的性能。

 

INDRAMAT HDS04.2-W200N-HS56-01-FW DSS02.1M DAE02.1M

INDRAMAT MKD025B-144-KP0-KN Servomotor

INDRAMAT CLC-D02.3 CLCD02.3 CLCD023 CLC-D02-3

INDRAMAT DDS02.1-W100-D DSS1.1 DLF1.1 DSM2.1 A0105 NEW

INDRAMAT AC-SERVO CONTROLLER TDM 3.2-020-300-W0 + Modul

INDRAMAT MKD025B-144-KP1-KN Servomotor

Indramat MAC063A-0-RS-3-C/095-B-1

Indramat Netzfilter NFD02.1-480-008

Indramat MDK090B-047-KG1

Rexroth Indramat MKD071B-061-KP0-KN

Indramat MAC 112B Servomotor CNC Steuerung

REXROTH INDRAMAT SERVO DRIVE DKC01.3-040-7-FW

INDRAMAT NETZTEIL KDV 2.3-100-220/300?-000

INDRAMAT DSS2.1 DSS 2.1 DSS-2.1 DSS21

Indramat KDA 3.3-150-3-LP0-W1 KDA3.3-150

Indramat IKG0006

INDRAMAT SERVOMOTOR MAC071C-0-GS-4-C/095-B-0/WI522LV

Indramat TDM 3.2-030-300 W1

Indramat MAC041C-0-TS-2-E/50-A-0/S007

Indramat TDM 1.2-100-300-W1 TDM1.2-100-300-W1

INDRAMAT TDM-1.2-100-300-W1 TDM1.2-100-300-W1

公司主营产品： FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、BENTLY、ROCKWELL、ABB、GE、Allen-Bradley、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth、SEW、丹控。
等各大品牌的DCS 、PLC 、机器人 、大型伺服 四大系统备件。（进口原装正品，专业停产配件)
山西润盛进出口有限公司真诚希望与各单位建立长久稳固的业务关系，并积极供应各种规格型号的仪器仪表产品，以质优价廉的产品及优质的售后服务为业务单位的发展贡献力量。
A、 竭诚为顾客提供质量稳定的产品和满意的售后服务， 在保证产品质量的前提下，尽量低价合理供应。
B、 按国标或行标组织生产，产品质量确保符合要求，在正确使用的情况下，使用寿命不低于其它同类产品。
C、 协助顾客科学、合理地选择产品类型、规格型号。
D 、及时供货，正常情况下6个工作日以内到货，特殊情况下根据客户需要进行商定。
E、由于货物为国外原厂家生产的，所以都由厂家提供售后服务，保质期的时间一般为半年到一年不等，具体保质期都是依据原厂提供的为准。一旦产品质量出现问题，经双方鉴定属厂商质量问题的，我们将为你送返原厂商维修或做其他的处理。
公司力量雄厚，设备齐全，检测手段完善，质量可靠，性能优越。由于我司遵循一切为用户着想为宗旨，坚持严谨的交货期限，合理的价格标准，优良的产品质量，妥善的售后服务，长期与广大新老用户进行真诚而有效的合作，体现出可靠的性能和与众不同的优点，受到广大用户信赖和欢迎。
联系人：白佳乐
联系方式：15340667322（微信同号）
QQ：3395949709
————————山西润盛进出口有限公司——————————
产品承诺：
承诺一：保 证 全新原装进口,
承诺二：保 证 安全准时发货，
承诺三：保 证 售后服务质量，
优势价格，大量现货。

流程一：1、客户确认所需采购产品型号
流程二：2、我方会根据询价单型号查询以及交货期，拟一份详细正规单
流程三：3，客户收到单并确认型号无误后订购产品
流程四：4、单负责人根据客户提供型号以及数量拟份销售合同
流程五：5、客户收到合同查阅同意后盖章回传并按照合同销售额汇款到开户行
流程六：6、我财务查到款后，业务员安排发货并通知客户跟踪运单


相关产品