AX7695PSK-10 MKS

相关产品组合方案

  • AX7695PSK-1：与AX7695PSK-10同系列但量程更小的型号，满量程为10Torr，适用于对低真空度有更高精度要求的应用。
  • 626A：MKS经典的Baratron系列电容式真空计，常作为AX7695PSK-10的备选或搭配，其满量程范围更广，适用于更多样化的真空应用。
  • 640B：MKS的数字式压力控制器，可以与AX7695PSK-10直接配合使用，形成一个闭环的压力控制系统，实现自动化气压调节。
  • 925C：MKS的通用电源/显示单元，为AX7695PSK-10提供供电并显示实时压力值，是实验室或单点应用中的理想搭配。
  • Valve：MKS的M12/M13系列压力控制阀，与AX7695PSK-10和640B控制器配合，构成一个完整的真空压力流量控制系统。

安装维护与全周期支持

AX7695PSK-10的设计秉承了易用性原则。在安装前，用户需确保接口清洁无污染。安装过程简单，只需将其通过D型接头与供电和控制系统连接即可。模块化的设计使得传感器更换变得非常简便。日常维护主要集中在清洁连接端口，并定期进行零点校准，以确保长期测量精度。由于其坚固的全不锈钢结构，在正确使用和维护下，该产品的寿命远超同类竞品。

我们提供全面的技术支持，包括远程故障诊断、现场技术指导以及备件更换服务。我们的专家团队深知真空和半导体工艺的复杂性，能够提供针对性的解决方案，帮助客户最大化AX7695PSK-10的性能优势，确保您的生产线持续高效运行。

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  • 销售经理：白佳乐
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描述

简要说明： AX7695PSK-10是一款由MKS Instruments公司生产的用于压力测量和控制的高精度传感器产品。它属于Capacitance Manometer（电容式真空计）系列，专门设计用于需要高准确度和稳定性的真空和压力测量应用。

应用场景

在半导体制造的晶圆刻蚀（Etch）工艺中，精确控制反应腔内的气压至关重要。任何微小的压力波动都可能导致刻蚀不均匀，影响产品良率。一家领先的半导体制造商在生产线上遭遇了这一难题：传统的真空计在长时间运行后漂移严重，且响应速度无法满足快速切换的工艺要求。他们决定升级设备，并选择了AX7695PSK-10电容式真空计。该传感器被安装在刻蚀腔体上，实时监测并反馈腔体内部的压力值。凭借其出色的长期稳定性和极快的响应速度，AX7695PSK-10与闭环控制系统完美配合，使得气压控制精度达到了前所未有的水平，最终将晶圆良率提升了5个百分点，显著降低了生产成本。

核心参数速览

主要参数 数值/说明
产品型号 AX7695PSK-10
制造商 MKS Instruments
产品类别 电容式真空计/压力传感器
满量程（Full Scale） 1000 Torr
精度（Accuracy） 0.25% of Reading (典型值)
测量范围 10^(-3) 至 1000 Torr
零点漂移 0.01% of Full Scale/°C
响应时间 小于20ms
接口类型 15针D型接头
信号输出 0-10 VDC 或 4-20mA（可配置）
供电电压 +15VDC / -15VDC
工作温度 0°C 至 50°C

技术原理与创新价值

  • 创新点1：高稳定性电容膜片技术：AX7695PSK-10的核心是一个由惰性陶瓷材料制成的高精度电容膜片。当膜片两侧的压力发生变化时，它会微小形变，导致电容值改变。MKS的专利技术确保了该膜片具有极低的温度漂移和长期稳定性，即使在恶劣的工艺环境下也能保持出色的测量一致性。这从根本上解决了传统压力计因温度变化和长期使用导致的零点漂移问题。
  • 创新点2：快速响应与高分辨率：该传感器采用了先进的数字信号处理（DSP）技术，使得其响应时间可以达到20ms以内，这对于半导体、制药和化工等需要快速工艺切换的行业至关重要。同时，高分辨率的模拟输出确保了即使在极小的压力变化下，也能提供精确的信号，为精细化控制提供了可能。
  • 创新点3：全不锈钢与惰性陶瓷结构：传感器与介质接触部分采用316L不锈钢和惰性陶瓷，使其具备卓越的耐腐蚀性。这使得AX7695PSK-10能够用于测量各种腐蚀性或危险性气体，如HF、Cl2等，从而拓宽了其应用范围，并延长了产品使用寿命。

应用案例与行业价值

除了半导体制造，AX7695PSK-10在真空镀膜行业同样表现出色。在光学镀膜工艺中，真空腔内的压力需要被精确控制在特定范围内，以确保薄膜的厚度和均匀性。一家真空镀膜设备制造商在其PECVD（等离子体增强化学气相沉积）系统中集成了AX7695PSK-10。通过该传感器，系统可以实时监测腔体压力，并根据工艺曲线自动调整气体流量。这使得镀膜过程的重复性得到显著提高，薄膜质量更加稳定。客户反馈，使用AX7695PSK-10后，产品良率提升了10%以上，并且由于其出色的稳定性，校准周期得以延长，大大降低了维护成本。

 

OMRON F350-C41 NSFP F350C41

MODICON 372-SPU-78001PS​TE NSFP 372SPU78001PSTE

ALLEN BRADLEY 1775-L4 NSFP 1775L4

ITE SIEMENS L3D340ZHCXXXXBA NSFP L3D340ZHCXXXXBA

ALLEN BRADLEY 1336F-B125-AE-E​N USPP 1336FB125AEEN

ALLEN BRADLEY 1775-MSA USPP 1775MSA

COLONIAL DBMM-110-009 NSFP DBMM110009

SIEMENS 6ES7-671-0CC01-​0YX0 NSFP 6ES76710CC010YX​1

SIEMENS 6ES7-671-0RC02-​0YX0CH NSFP 6ES76710RC020YX​0

SAGINAW MACHINE CO 000W544870 NSFP 000W544870

INDRAMAT RAC3.5-150-460-​-A00-Z1-220 NSFP RAC35150460A00

DATA I/O 991-0014-054 USPP 9910014054

ITE SIEMENS L3F340ZGCXXXXBN NSFP L3F340ZGCXXXXBN

RELIANCE ELECTRIC SA3000DC240 USPP SA3000DC240

CUTLER HAMMER W201K6CFZ1 USPP W201K6CFZ1

RELIANCE ELECTRIC 57552-C USPP 57552C

INDRAMAT RAC2.2-200-460-​A00-W1 USPP RAC22200460A00W​1

SIEMENS 6ES5-948-3UA21 USPP 6ES59483UA21

 

公司主营产品： FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、BENTLY、ROCKWELL、ABB、GE、Allen-Bradley、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth、SEW、丹控。
等各大品牌的DCS 、PLC 、机器人 、大型伺服 四大系统备件。（进口原装正品，专业停产配件)
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