AX7670-60 MKS

典型应用场景

MKS AX7670-60 的高精度和可靠性使其在多个关键工业领域得到广泛应用。在半导体制造领域，它常用于晶圆制造过程中的薄膜沉积、蚀刻和掺杂工艺，精确控制反应气体流量，直接影响最终芯片的性能和良率。在光伏电池制造中，AX7670-60 用于控制PECVD（等离子增强化学气相沉积）过程中的工艺气体，确保薄膜的均匀性和质量。

在制药和生物技术领域，该控制器用于发酵罐中的气体（如氧气或空气）流量控制，以优化细胞生长环境。此外，在汽车尾气排放测试、科研实验室的气体混合和分析系统、以及光纤制造等领域，MKS AX7670-60 都以其出色的性能，成为实现精密气体控制的首选。

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描述

详细参数表

参数名称 参数数值
产品型号 AX7670-60
制造商 MKS Instruments
产品类别 质量流量控制器 (MFC)
所属系列 Mass-Flo®
满量程流量 60 slm (标准升/分钟)
气体类型 N₂ (通常适用于多种非腐蚀性气体)
测量精度 ±1% of Full Scale (满量程)
重复性 ±0.25% of Full Scale (满量程)
响应时间 1秒以内 (通常)
电气接口 9-pin D-sub or other standard connector
通信协议 模拟电压或数字通信协议 (如RS485)
环境温度 0°C 至 50°C

产品简介

MKS AX7670-60 是一款精密、可靠的质量流量控制器，专为在半导体制造、薄膜沉积、制药以及研发实验室等严苛应用中精确控制气体流量而设计。作为MKS Mass-Flo®系列的核心成员，AX7670-60 凭借其独特的热式传感器技术，能够对气体的分子流量进行直接、实时且不受压力或温度变化影响的测量和控制。该控制器集成了先进的微处理器和控制算法，确保了流量设定值的快速响应和极高的重复性，从而为用户提供稳定、一致的工艺条件。

MKS AX7670-60 不仅具备出色的性能，其紧凑耐用的设计也使得它在集成到复杂的自动化系统中时非常便利。无论是用于单一气体的精密流量控制，还是作为多气体混合系统中的关键组件，AX7670-60 都能以其卓越的可靠性和稳定性，成为用户实现精确工艺控制的理想选择。

核心优势与技术亮点

MKS AX7670-60 的设计理念围绕“高精度、高稳定性和高可靠性”三个核心要素展开，使其在同类产品中脱颖而出。

高精度与高重复性： MKS AX7670-60 采用独特的拉式（draw-through）热式传感器设计，这种技术能够直接测量气体的质量流量，不受进气口压力和温度波动的影响。高达±1%满量程的测量精度和±0.25%的重复性，确保了每一次气体输送的精准度，这对于对工艺配方要求极高的应用至关重要。

快速响应与稳定控制： 该控制器集成了先进的微处理器，能够以亚秒级的速度对流量设定值变化做出响应，并快速稳定到新的流量点。这种快速响应能力使得 AX7670-60 在需要频繁切换流量或进行动态控制的应用中表现出色，显著提高了生产效率。

卓越的可靠性与兼容性： MKS AX7670-60 采用全金属密封设计，有效防止了气体泄漏和外界污染，确保了在高洁净度要求环境下的长期可靠运行。此外，它支持多种电气和通信接口，包括模拟信号和数字协议，使其能够轻松集成到各种现有的或新建的控制系统中。

 

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