810-066590-004 LAM

品牌介绍

LAM Research Corporation是全球领先的半导体设备制造商，致力于为客户提供先进的蚀刻、沉积和清洗解决方案。LAM在全球拥有约14,000名员工，业务遍及17个国家和地区。

LAM的产品和服务包括：

蚀刻设备

沉积设备

清洗设备

服务和支持

LAM的目标是为客户提供创新的技术和解决方案，帮助他们提高生产力和效率。

分类：
  • 销售经理：白佳乐
  • 电话：15340667322（微信同号）
  • QQ：3395949709
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描述

810-066590-004 LAM

LAM 810-066590-004产品说明

产品概述

LAM 810-066590-004是一款用于半导体制造的蚀刻腔体。它采用创新的设计和技术，可提供高精度、高均匀性和高可靠性的蚀刻性能。

产品参数

腔体尺寸：8英寸

蚀刻工艺：RIE、ICP

蚀刻材料：Si、SiO2、SiN、PolySi

蚀刻速率：可调

均匀性：±0.5%

重复性：±0.2%

产品应用

逻辑芯片制造

存储芯片制造

MEMS制造

光电子器件制造

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