4104C ZYGO

产品应用

ZYGO 4104C广泛应用于各种高精度测量和控制领域，例如：

半导体制造：用于晶圆检测、光刻等工艺中的精密定位和测量。

精密加工：用于机床、光学元件等精密加工中的定位和测量。

科学研究：用于纳米技术、生物技术等领域的精密测量和控制。

分类：
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描述

ZYGO 4104C是一款高性能的测量电子设备，主要用于纳米定位传感器和位移测量干涉仪。它具有以下特点：

高精度：4104C具有极高的分辨率和精度，能够实现纳米级的测量。

多轴控制：支持多达四个轴的控制，适用于复杂的测量应用。

高速测量：具有高速测量能力，能够快速准确地捕捉运动物体的位移信息。

稳定可靠：采用先进的技术和工艺，具有良好的稳定性和可靠性。

产品参数

型号：4104C

轴数：4

板类型：6U VME64x

最小光功率：0.07µW

位置分辨率：0.15 nm

最大速度：±2.55 m/s

最大速度下的精度(σ)：0.2 nm

循环误差补偿：是

兼容激光器：7702,7714,7724

品牌介绍

ZYGO是一家全球领先的光学计量系统、定制光学元件和复杂光电系统设计和制造供应商。ZYGO的产品广泛应用于半导体、航空航天、汽车、医疗等行业。ZYGO以其卓越的技术和创新能力，赢得了全球客户的信赖。

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