253B-1-40-1 MKS

应用案例与行业价值:

在一家OLED显示面板生产线的镀膜环节，需要将大型真空腔体的压力精确控制在特定范围内，以确保镀膜的均匀性和缺陷率。过去，由于压力波动，导致部分面板出现颜色不均或颗粒缺陷。该企业引入了MKS 253B-1-40-1 排气节流阀，并将其与MKS 651系列数字PID阀门控制器配合使用。MKS 253B-1-40-1 通过其高分辨率和线性调节特性，实现了对镀膜腔体压力的亚秒级精确稳定。这使得镀膜过程中的压力波动大幅减少，最终将OLED面板的A级品率提升了2%，为企业带来了显著的经济效益，并巩固了其在高端显示领域的市场地位。

相关产品组合方案:

  • MKS 651: MKS 651 自整定/数字PID阀门控制器，是与253B-1-40-1 配合使用的理想选择，能够提供快速、精确的压力控制。
  • MKS 653: MKS 653 节流阀，与253B-1-40-1 同属MKS节流阀系列，可能作为不同通径或应用需求的替代或补充。
  • MKS 626B: MKS 626B 巴拉创电容式压力计，为253B-1-40-1 提供高精度的真空压力测量反馈，形成闭环控制。
  • MKS 153B: MKS 153B 集成式节流阀，部分型号可能包含与253B-1-40-1 类似的核心技术，但集成了控制功能，适合更紧凑的系统。
  • MKS PDR2000: MKS PDR2000 数字压力控制器，可与253B-1-40-1 配合，提供更高级的压力控制算法和通信功能。
  • NW40 法兰及配件: 253B-1-40-1 使用NW40 ISO-KF法兰，因此需要配套的NW40法兰、卡箍和中心环等真空配件进行连接。
分类：
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描述

简要说明:

253B-1-40-1 是MKS Instruments公司生产的一款排气节流阀，属于其253B系列。该阀门采用先进的蝶阀（Flapper）设计，并集成O型圈，专门用于在真空处理系统中精确调节气体流量，从而实现对腔体压力的稳定控制。

应用场景:

在半导体晶圆制造的等离子刻蚀工艺中，对腔体内的真空度和气体组分精确控制是决定刻蚀质量和良率的关键。任何微小的压力波动都可能导致刻蚀不均匀，甚至损坏昂贵的晶圆。一家领先的半导体制造商在面对复杂的多步刻蚀工艺时，发现其现有的压力控制系统无法达到所需的精度和响应速度，导致生产效率受限。为了解决这一难题，他们引入了MKS 253B-1-40-1 排气节流阀。通过将253B-1-40-1 与MKS的真空压力控制器集成，该制造商实现了对刻蚀腔体压力的亚毫秒级响应和极高精度控制。253B-1-40-1 独特的非线性执行器设计确保了在宽压力范围内的线性调节特性，极大地提升了刻蚀工艺的稳定性和重复性，最终使其晶圆良率提高了5%，并缩短了工艺调试时间。

核心参数速览:

主要参数 数值/说明
产品型号 253B-1-40-1
制造商 MKS Instruments
产品类别 排气节流阀 (Exhaust Throttle Valve)
法兰类型 ISO-KF
法兰尺寸 NW40
公称内径 1.270 英寸 (32 毫米)
阀门驱动 机械（非皮带）驱动，带余弦发生器
阀门速度 7.5 秒 (从全开到全关)
分辨率 1/10,000 (标准)
氦气泄漏率 scc/sec
关断泄漏率 Torr l/s (带蝶阀O型圈)
阀体操作温度范围 0°C 至 +90°C
电机环境操作温度范围 0°C 至 +70°C
最大压差 1 大气压 (15 psig)

技术原理与创新价值:

  • 创新点1: 专利非线性执行器 253B-1-40-1 的核心优势在于其独特的专利非线性执行器设计。该执行器巧妙地置于蝶阀轴和电机驱动轴之间，通过机械方式生成线性阀门传输特性。这意味着无论在真空度高还是低的环境下，阀门的调节响应都呈现出高度的线性，从而实现了极其平滑且精确的压力控制。这种创新技术解决了传统节流阀在宽压力范围内线性度不足的问题，为用户提供了无与伦比的控制精度和稳定性。

  • 创新点2: 卓越的真空密封与低泄漏率 253B-1-40-1 集成了高品质的蝶阀O型圈，确保了阀门在关闭状态下的极低泄漏率（小于 Torr l/s）以及极低的外部氦气泄漏率（ scc/sec）。这种卓越的密封性能对于半导体、显示面板等高真空应用至关重要，它能有效防止外部气体污染工艺腔体，保障工艺纯净度，从而显著提升产品良率。

  • 创新点3: 坚固耐用与广泛兼容性 253B-1-40-1 采用坚固的工业级结构设计，阀体能够在0°C至+90°C的宽泛温度范围内稳定运行，确保其在恶劣的生产环境中仍能可靠工作。同时，它兼容所有MKS节流阀控制器，提供了灵活的系统集成方案，无论是新建系统还是现有系统升级，都能轻松实现无缝对接。这种设计不仅延长了产品使用寿命，也为用户提供了更大的系统配置灵活性。

安装维护与全周期支持:

MKS 253B-1-40-1 排气节流阀的设计兼顾了工业现场的安装便捷性和长期运行的可靠性。其标准的NW40 ISO-KF法兰使其能够快速、安全地集成到现有的真空管道系统中。安装过程中，应确保法兰连接处清洁无尘，并使用正确的卡箍和O型圈，以保证真空密封性。阀门本体和电机的坚固构造使其能够承受日常的工业振动和操作。

日常维护主要包括定期检查阀体和O型圈的清洁状况，避免颗粒物堆积影响密封性能。由于采用了机械驱动和非接触式密封，253B-1-40-1 的磨损部件极少，从而显著降低了维护频率和成本。如果出现故障，MKS提供专业的维修和校准服务，确保阀门恢复到出厂时的最佳性能。我们提供全面的技术支持，涵盖从产品选型、系统设计、安装调试指导，到操作培训和全球范围内的售后服务。我们承诺为您的MKS 253B-1-40-1 提供全生命周期的支持，确保您的真空系统始终保持高效、精确且可靠的运行。

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