描述
0100-09123 AMAT
AMAT 0100-09123是一款由应用材料公司(AMAT)生产的晶圆传感器板,用于其CVD和蚀刻设备。它是一种用于测量晶圆表面温度和均匀性的精密仪器。
产品参数
型号:0100-09123
品牌:AMAT
产品类型:晶圆传感器板
适用设备:CVD和蚀刻设备
测量参数:晶圆表面温度、均匀性
精度:±0.1°C
重复性:±0.05°C
尺寸:200 mm x 200 mm
产品应用
AMAT 0100-09123晶圆传感器板可用于各种半导体制造应用,包括:
薄膜沉积
蚀刻
扩散
离子注入
金属化
产品特点
高精度和重复性
快速响应时间
宽温度范围
坚固耐用的设计
易于安装和维护

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