0010-70441 AMAT

相关产品组合方案:

由于 AMAT 设备的定制化程度较高,以下列出一些可能与 0010-70441 相关的组件或系统,具体配置需根据实际设备型号确定:

  1. 晶圆传输机械手 (Wafer Handling Robot):负责在不同腔室之间以及与升降组件之间传输晶圆。
  2. 真空腔体 (Vacuum Chamber):为薄膜沉积提供所需的真空环境。
  3. 工艺控制系统 (Process Control System):控制整个 PVD 过程,包括升降组件的运动。
  4. 传感器和反馈系统 (Sensors and Feedback System):用于监测晶圆的位置和升降组件的状态,实现闭环控制。
  5. 电源和驱动器 (Power Supply and Driver):为 0010-70441 的电机提供电力和控制信号。
  6. 润滑和维护组件 (Lubrication and Maintenance Components):确保升降组件的长期稳定运行。
  7. 安全互锁装置 (Safety Interlocks):保障设备和操作人员的安全。
  8. 其他工艺相关模块 (Other Process-Related Modules):如溅射靶材、气体注入系统等。
分类:
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描述

简要说明:

0010-70441 是由 AMAT (Applied Materials) 制造的 PVD HP LIFT ASSY,BASIC MOTORIZED LIFT(物理气相沉积高功率升降组件,基本电动升降机构)。该组件是半导体制造设备的关键部件,用于在真空腔室内精确地移动和定位晶圆或其他基材。

应用场景:

在先进的半导体薄膜沉积工艺中,例如在 Applied Materials Endura PVD 系统中,晶圆需要在不同的工艺腔室之间以及在腔室内的不同高度进行精确的传输和定位,以进行各种薄膜的生长。0010-70441 基本电动升降组件就像是半导体设备的“手臂”,它能够根据工艺流程的要求,精确地将晶圆从一个位置提升或降低到另一个位置,确保晶圆在最佳的高度进行薄膜沉积,这对于获得高质量、均匀的薄膜至关重要。如果该组件出现故障,将直接影响设备的生产效率和良品率。

技术原理与创新价值:

创新点 1:高精度运动控制。0010-70441 电动升降组件通常采用高精度的步进电机或伺服电机驱动,配合精密的传动机构(如滚珠丝杠或齿轮齿条),实现微米级的垂直运动精度和重复定位精度。这对于保证薄膜生长的均匀性和工艺的稳定性至关重要。

创新点 2:洁净环境适应性设计。在半导体制造过程中,任何微小的颗粒污染都可能导致芯片缺陷。因此,0010-70441 在设计和制造过程中会严格控制材料的选择和表面处理,以最大程度地减少颗粒的产生。同时,其结构设计也会考虑到在真空环境下的稳定运行和低维护需求。

应用案例与行业价值:

在一家全球领先的半导体制造厂的扩产项目中,其 PVD 薄膜沉积环节采用了多台 Applied Materials Endura 系统。AMAT 0010-70441 基本电动升降组件作为晶圆传输和定位的关键部件,承担着将晶圆精确送达各个工艺位置的任务。该组件的稳定性和可靠性直接影响了整条生产线的产能。通过采用高质量的 0010-70441,该工厂实现了高效稳定的薄膜沉积,保证了芯片的性能和良率,最终帮助该企业按计划完成了产能扩张,并在激烈的市场竞争中保持了领先地位。

安装维护与全周期支持:

0010-70441 作为半导体设备的核心精密组件,其安装和维护需要由经过专业培训的工程师进行。安装过程需要严格遵守 AMAT 的技术规范,确保组件与设备的机械和电气连接正确无误。日常维护应包括定期检查组件的运行状态、清洁关键部件、并按照 AMAT 的建议进行润滑和必要的部件更换。

AMAT 为其设备和组件提供全面的全周期支持服务,包括详细的技术文档、安装手册、维护指南、故障排除以及原厂备件供应。用户可以通过 AMAT 的全球服务网络获得专业的支持,以确保设备的稳定运行和最大化生产效率。

公司主营产品: FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、BENTLY、ROCKWELL、ABB、GE、Allen-Bradley、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth、SEW、丹控。
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