产品核心摘要

• 型号：ZMI-4104C
• 品牌：ZYGO（阿美特克 AMETEK 旗下）
• 系列：ZMI™ 4100 系列
• 核心功能：接收 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪光信号，计算并输出高精度位移数据
• 产品类型：位移测量电子板卡（Displacement Measurement Board）
• 板卡规格：6U VME64x 标准
• 测量轴数：4 轴/板
• 位置分辨率：0.15 nm（亚纳米级）
• 最大速度：±2.55 m/s
• 最大速度下精度（σ）：0.2 nm
• 循环误差补偿：支持（ZMI 专有专利技术）
• 兼容激光器：7702、7714、7724
• 最小光功率：1.0 µW

产品深度介绍

ZYGO ZMI-4104C 是 ZMI™ 4100 系列中的旗舰级位移测量板卡，采用 6U VME64x 总线标准，单板支持 4 个测量轴。它的工作原理是：接收由 ZMI™ 激光源（如 7702、7714、7724 等型号）驱动的双通干涉仪发出的光信号，通过板载信号处理电路解算干涉条纹，计算出纳米级甚至亚纳米级的位移量，并通过 VME 总线将数据输出给上位控制系统。ZMI 系列是 ZYGO 在精密位移控制领域的核心产品线，拥有超过 30 年的应用历史。ZYGO 是国际先进光刻机中位移控制系统的主要供应商之一，其 ZMI 传感器广泛应用于半导体制造（晶圆对准、光刻机精密运动控制）、平板显示制造、精密机械加工、航空航天计量和科研实验等领域。ZMI-4104C 在 ZMI 系列中定位高端，相比同系列的 ZMI-2400（1-2轴）和 ZMI-4004（4轴），它在最小光功率要求（1.0 µW）和最大速度（±2.55 m/s）方面具有优势，同时继承了 ZMI 系列标志性的循环误差补偿（Cyclic Error Reduction）专利技术，可自动消除干涉测量系统中常见的固有非线性误差，实现最高测量精度。

核心卖点与差异化

• 亚纳米级分辨率：0.15 nm 的位置分辨率，适用于最具挑战性的精密位置计量应用。
• 4 轴高密度集成：单块 6U VME 板卡即可承载 4 个独立测量轴，相比 ZMI-2400（1-2轴）大幅提升系统集成密度。
• 高速高精度：在 ±2.55 m/s 的最大速度下仍保持 0.2 nm（σ）的精度，适合高速运动控制场景。
• 循环误差补偿：ZMI 系列专有的专利技术，可自动、无缝地消除干涉测量系统中常见的固有非线性误差，这是 ZMI-4104C 区别于普通位移测量板卡的核心优势。
• 低光功率需求：最小光功率仅需 1.0 µW，对激光源功率要求更低，有利于延长激光器寿命和降低系统成本。
• 模块化扩展：可模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴，适合大规模多轴测量系统。
• 反向提醒：ZMI-4104C 是一块 VME 总线板卡，不是独立运行的仪表——必须插入兼容的 VME64x 机箱背板，并配合 ZMI™ 激光源和干涉仪光学组件才能构成完整的位移测量系统。
• 反向提醒：网上部分第三方平台将 ZMI-4104 标注为”汽轮机控制器”或”操作面板”，这是不准确的。它是精密位移测量电子板卡，主要应用于半导体、精密加工和计量领域。