0200-05869 AMAT：ESC Chuck Power Supply，应用于半导体设备静电吸盘

0200-05869 是Applied Materials (AMAT) 生产的一款静电吸盘 (Electrostatic Chuck, ESC) 电源供应器 (Power Supply)。该电源是半导体制造设备中静电吸盘系统的关键组件，用于为ESC提供所需的电压和电流，以实现对晶圆的吸附和释放，确保晶圆在工艺过程中的稳定固定。

应用场景

在半导体薄膜沉积、刻蚀等工艺中，晶圆需要在真空腔室内被精确地固定在工艺载台上。静电吸盘 (ESC) 是一种常用的晶圆固定技术，它通过施加静电力将晶圆牢固地吸附在载台上，避免了机械夹持可能造成的污染和变形。AMAT 设备的ESC系统需要稳定可靠的电源供应来产生和控制静电力。0200-05869 电源供应器正是为此目的而设计，它为ESC提供精确可控的电压和电流，确保晶圆在整个工艺过程中被安全可靠地吸附，从而保证工艺的均匀性和良率。

技术原理与创新价值

• 创新点1：精确的电压和电流控制。 0200-05869 电源供应器能够提供精确可控的高电压和电流，确保静电吸盘产生稳定且适当的吸附力，既能牢固吸附晶圆，又能在需要时安全释放。
• 创新点2：快速的吸附和释放响应。 该电源通常具备快速的电压切换能力，实现晶圆的快速吸附和释放，提高设备的生产效率。
• 创新点3：集成保护功能。 内置的过压、过流等保护机制能够保护电源自身和静电吸盘，提高系统的可靠性和安全性。

应用案例与行业价值

在某先进的半导体刻蚀设备中，晶圆需要在刻蚀过程中保持高度的平整和稳定的温度。该设备采用了静电吸盘技术来固定晶圆，而 0200-05869 电源供应器则为ESC提供了精确的驱动电压。通过精确控制吸盘的电压，可以确保晶圆与载台之间的良好接触，实现均匀的温度控制，并防止晶圆在刻蚀过程中发生移动，从而保证了刻蚀工艺的精度和均匀性，最终提高了芯片的性能和良率。

相关产品组合方案

由于 0200-05869 是静电吸盘系统的电源组件，其相关产品组合通常是构成整个ESC系统的其他部件和设备：

1. AMAT 静电吸盘 (ESC): 0200-05869 为其提供电力。ESC的类型和规格取决于具体的工艺需求。
2. ESC 控制器: 用于控制 0200-05869 电源供应器的输出电压和电流，以及协调吸附和释放过程。
3. 高压电缆: 用于连接 0200-05869 电源供应器和静电吸盘。
4. 冷却系统: 部分ESC系统需要冷却以维持晶圆的温度稳定。
5. 真空泵: 用于维持工艺腔室的真空环境，这是ESC正常工作的前提。
6. AMAT 工艺设备: 例如刻蚀机、PVD设备、CVD设备等，这些设备通常会集成ESC系统。
7. 传感器: 用于监测晶圆的吸附状态和温度。
8. 安全互锁系统: 确保在ESC工作时操作人员的安全。